三星2030年实现芯片工厂完全自动化 开发智能传感器有何进展

三星电子目前正在进行智能传感系统的开发，目的是为了将产量提高，并且将半导体工厂的运营方式进一步改变。据报道三星计划在2030年使芯片工厂完全实现自动化，再也不需要人工进行操作。

三星电子所作出的最终目标是工厂的半导体生产设施到2030年能够实现完全无人值守。想要实现这一目标就需要进行大量数据管理，并且自动优化设备性能的系统的开发。在该计划当中最为重要的一个组成部分是智能传感系统。智能传感系统的开发成功将会在全自动晶圆厂实现智能化方面，起到非常重要的作用。目前三星电子向智能传感器等项目方面的投资已经达到数千万韩元。三星电子目前所研发的智能传感器目的是进行精元上等离子体的均匀性的测量。据报道这一点非常重要，因为等离子体的均匀性在很大程度上都会影响半导体制造中的沉积、清洁以及蚀刻等工艺的结果。