射频微电子(关于射频微电子的简介)
2022-08-01 23:30:06 编辑:劳月晶 来源:
导读 大家好,射频微电子,关于射频微电子的简介很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题
大家好,射频微电子,关于射频微电子的简介很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)。
2、1985年研制成功。
3、获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
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