电子束蒸发(关于电子束蒸发的简介)
2022-08-11 05:00:45 编辑:水鹏雅 来源:
导读 大家好,电子束蒸发,关于电子束蒸发的简介很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、真空蒸发工艺是将固体材料置于高真空环境中加热,
大家好,电子束蒸发,关于电子束蒸发的简介很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、真空蒸发工艺是将固体材料置于高真空环境中加热,使之升华或蒸发并淀积在特定的衬底上,以获得薄膜的工艺方法。
2、真空蒸发工艺在微电子技术中主要用于制作有源元件、器件的接触及其金属互连、高精度低温度系数的薄膜电阻器,以及薄膜电容器的绝缘介质和电极等。
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