突破物理极限 光刻机之战

半导体光刻机的重要性不言而喻，航空发动机一直被誉为人类顶尖工业皇冠上的明珠。近几年的不断突破物理极限的半导体光刻机的重要性慢慢会高于航空发动机之上。光刻是指在比头发丝还细千倍的地方挑战激光波长和量子遂川的极限，有了光刻机之后，让工厂能够在每秒钟刻出上千亿个晶体管。

60年代以及70年代，光刻并不是高科技。直到60年代末，日本的尼康以及佳能开始进入该领域，70年代出光刻机技术集中在如何保证10个甚至更多个掩模板精准的客套在一起。从60年代开始发展至今，已经走过50多年的时间。光刻机之战从未停止过，在不久的未来通过人类的智慧，一定能够突破光学光刻机的极限，光刻机在半导体制造业中占据着不可替代的地位。